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台灣積體電路製造股份有限公司十四廠四期廠房

【產業別】
電子零組件製造業
【標章編號】
GF0006
【通過日期】
2012/11/01
【標章有效期】
2012/11/01~2015/10/31
【工廠地址】

台南科學工業園區台南市善化區南科北路1號之1
【生產產品】

12吋晶圓代工
【認定範圍】

四期廠房
【引用之清潔生產評估系統】

特定行業-半導體業(IC製造)
【簡介】

台積公司位於南科的晶圓十四廠在2004年量產,為全球最大的12吋晶圓廠。該廠於2008年榮獲行政院環保署頒發之企業環保獎,而三期、四期廠房亦獲得台灣綠建築EEWH鑽石級標章以及美國綠建築LEED-NC黃金級標章,充分展現出台積公司於綠建築付出之努力。


台積公司十四廠三期/四期廠房以節約能資源、減廢及最佳可行技術為目標,落實多項清潔生產技術,如依製程氣體種類,設置真空排氣系統,並使用各式高效率之local scrubber,提高廢氣處理效率、增設去光阻劑回收系統、廢液回收等。


該廠於產品生產過程中,透過製程、原物料及耗材之改善,使用增厚靶材、開發高濃度藥劑、與上游廠商開發長壽命之研磨墊等,減少物質使用。並持續研發更高階製程技術,降低產品在使用階段所消耗的電力。此外,台積公司開發精進電源半導體製程技術,支援終端產品實現綠能設計理念,製造出優於業界之電源管理晶片,提高電子產品之效率。
該廠致力於綠色研發、綠色製造、綠色產品、綠色供應鏈、綠建築的推廣與落實,展現與環境友善共存的決心,為一落實企業社會責任之綠色工廠。